产品优点：
1. 涡轮分子泵和前级泵的完美结合；适合多种应用需求
2. 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求
3. 各部件配合简便，易于保养维修
4. 集成的驱动系统，无需额外的控制系统
5. “即插即用”-无需布线和安装
6. 结构坚固，服务寿命长，可靠性高
7. 意外断电时，前级真空安全阀（可选）可保护真空腔体免受返流影响
8. 可以直接连接真空计
应用领域：
1.研发 2. 加速器 3. 分析和表面物理学 4. 真空工艺 5. 电子束焊接 6. 检漏系统
HiCube 系列移动式涡轮分子泵组在业界设立了新的标准：最新系列的 HiPace 涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列完美结合。我们为您提供最新的 Classic 和 Pro 系列的 HiCube 分子泵组。可选择干泵或旋片泵作为前级泵，极限真空度可达 5 * 10-10 mbar。
针对特别有限的空间要求，HiCube 系列分子泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的 HiCube Eco 经济型泵组，其抽速范围从 35 l/s 至 67 l/s。
产品规格：
Hicube Pro:
型号
|
连接法兰
|
抽速 l/s
|
极限真空mbar
|
前级泵抽速 m3/h
|
入口
|
N2
|
Xtradry 150
|
Penta
|
Xtradry 150
|
Penta 10
|
Penta 20
|
Penta 40
|
Hicube 80
|
40
|
35
|
〈1.10-7
|
〈1.10-7
|
7.5
|
11
|
22
|
34
|
Hicube 80
|
63
|
67
|
〈1.10-7
|
〈1.10-7
|
7.5
|
11
|
22
|
34
|
Hicube 80
|
63
|
67
|
〈5.10-10
|
〈5.10-10
|
7.5
|
11
|
22
|
34
|
Hicube 300
|
100
|
260
|
〈1.10-7
|
〈1.10-7
|
7.5
|
11
|
22
|
34
|
Hicube 300
|
100
|
260
|
〈5.10-10
|
〈1.10-8
|
7.5
|
11
|
22
|
34
|
Hicube 400
|
100
|
355 |
〈1.10-7
|
〈1.10-8
|
7.5
|
11
|
22
|
34
|
Hicube 400
|
100
|
355
|
〈5.10-10
|
〈1.10-8
|
7.5
|
11
|
22
|
34
|
Hicube 700
|
160
|
685
|
〈1.10-7
|
〈1.10-7
|
7.5
|
11
|
22
|
34
|
Hicube 700
|
160
|
685
|
〈5.10-10
|
〈1.10-8
|
7.5
|
11
|
22
|
34
|
Hicube Eco:
Hicube Classic:
技术参数：
Hicube Pro:
技术参数：
|
