分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 产品优点：
1. 四种抽速，抽速为自1,000 至 2,000 l/s
2. 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速
3. 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 要求，耐粉尘
4. 高气流量，即使对于分子量较大的气体
5. 集成的 TC 1200 驱动单元，可直接连接一般电源
6. 支援腐蚀气体
7. 带节气阀门的集成密封气体系统
8. 标准接口界面：RS-485 以及远程控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供选择
9. 符合 IP 54 防护标准，适用于工业应用环境
10. 符合 Semi S2 规范
11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 认证
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 适用领域：
1. 半导体生产 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5. 玻璃及刀具镀膜
产品规格：
型号
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连接尺寸 DN
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抽速 l/s
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压缩比
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最高启动压强mbar
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冷却方式
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启动时间
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重量
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进气口
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出气口
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氮气N2
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氦气He
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氢气 H2
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氮气 N2
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氮气N2
|
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min
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kg
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HiPaceTM 1200
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200
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40
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1,250
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1,300
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1,100
|
>108
|
2
|
水冷
|
2.5
|
40
|
HiPaceTM 1500
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250
|
40
|
1,450
|
1,350
|
1,150
|
>108
|
2
|
水冷
|
2.5
|
41
|
HiPaceTM 1800
|
200
|
40
|
1,450
|
1,650
|
1,700
|
>108
|
1.8
|
水冷
|
4
|
34
|
HiPaceTM 2300
|
250
|
40
|
1,900
|
2,050
|
1,850
|
>108
|
1.8
|
水冷
|
4
|
37
|
技术参数：
HiPace™ 1200, DN 200 ISO-K
HiPace™ 1200, DN 200 ISO-F
HiPace™ 1200, DN 200 CF-F
HiPace™ 1200, pumping speed
HiPace™ 1500, DN 250 ISO-K
HiPace™ 1500, DN 200 ISO-F
HiPace™ 1500, DN 200 CF-F
HiPace™ 1500, pumping speed
HiPace™ 1800, DN 250 ISO-K
HiPace™ 1800, DN 250 ISO-F
HiPace™ 1800, pumping speed
HiPace™ 2300, DN 250 ISO-K
HiPace™ 2300, DN 250 ISO-F
HiPace™ 2300, DN 250 CF-F
HiPace™ 2300, pumping speed,
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