气 体 名 |
化 学 式 |
许 容 浓 度
(ACGIH TLV-TWA) |
测 定 范 围
(Measuringrange) |
气体检知部型号 |
氨气 |
NH3 |
25ppm |
0-75ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
五氯化锑 |
SbCI5 |
|
HCL 0-15ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
五氯化砷 |
AsF5 |
|
HF 0-9ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、SC-90 |
砷化(三)氢 |
AsH3 |
0.05ppm |
|
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
|
三氯化硼 |
BCI3 |
|
HCL 0-15ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
三氟化硼 |
BF3 |
1ppm(C) |
HF 0-9ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、SC-90 |
溴 气 |
Br2 |
0.1ppm |
0-1ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、SC-90 |
一氧化碳 |
CO |
25ppm |
0-75ppm |
0-100ppm |
0-150ppm |
0-200ppm |
0-300ppm |
|
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
UNOR710 |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
UNOR710 |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
|
四氯化碳 |
CCI4 |
5ppm |
0-30ppm |
GD-K8DT |
氯 气 |
CI2 |
0.5ppm |
|
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
|
三氟化氯 |
CIF3 |
0.1ppm |
0-1ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、SC-90 |
乙 硼 烷 |
B2H6 |
0.1ppm |
0-0.3ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、SC-90 |
二氯甲硅烷 |
SiH2CI2 |
|
HCL 0-15ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
乙 硅 烷 |
Si2H6 |
|
0-15ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、SC-90 |
氟 气 |
F2 |
1ppm |
|
GD-K11D、-K7DⅡ、SC-90 |
GD-K11D、-K7DⅡ、SC-90 |
|
烷 |
GeH4 |
0.2ppm |
0-0.8ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、SC-90 |
氢 气 |
H2 |
|
0-2000ppm |
GD-7D、-V11D、-V77D |
溴 化 氢 |
HBr |
3ppm |
0-9ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、SC-90 |
氯 化 氢 |
HCI |
5ppm |
0-15ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
氟 化 氢 |
HF |
3ppm |
0-9ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、 SC-90 |
碘 化 氢 |
HI |
|
0-5ppm |
GD-K7D Ⅱ H、-K77D |
硒 化 氢 |
H2Se |
0.5ppm |
0-0.2ppm |
GD-K7D Ⅱ、-K77D |
硫 化 氢 |
H2S |
10ppm |
0-30ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、 SC-90 |
碘 气 |
I2 |
0.1ppm |
0-1ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、 SC-90 |
四氟化钼 |
MoF4 |
|
HF 0-9ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、 SC-90 |
一氧化氮 |
NO |
25ppm |
0-100ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、 SC-90 |
二氧化氮 |
NO2 |
3ppm |
0-15ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
三氧化氮 |
NF3 |
10ppm |
0-30ppm |
GD-K8DG、-K11DG、-K77DG |
一氧化二氮 |
N2O |
50ppm |
0-200ppm |
UNOR710 |
氧 气 |
O2 |
小于18% |
0-25vol% |
GD-F11A、-F77A |
臭 氧 |
O3 |
0.1ppm |
0-1ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
磷 烷 |
PH3 |
0.3ppm |
0-1ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
含氧氯化磷 |
POCI3 |
0.1ppm |
HCI 0-15ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
五氟化磷 |
PF6 |
|
HF 0-9ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、 SC-90 |
三氯化磷 |
PCI3 |
0.2ppm |
HCI 0-15ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
三氟化磷 |
PF3 |
1ppm |
0-10ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、 SC-90 |
硅 烷 |
SiH4 |
5ppm |
0-15ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
二氧化硅 |
SiO2 |
|
10gm/m3 |
GD-SK34PN |
四氯化硅 |
SiCI4 |
|
HCI 0-15ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
四氟化硅 |
SiF4 |
|
HF 0-9ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、 SC-90 |
六氟化硫 |
SF6 |
1000ppm |
0-2000ppm |
UNOR710 |
四氟化硫 |
SF4 |
0.1ppm |
HF 0-9ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、 SC-90 |
氟 化 钽 |
TaF5 |
|
HF 0-9ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、 SC-90 |
四乙氧(基)硅烷(TEOS) |
Si(OC2H5)4 |
10ppm |
0-15ppm |
GD-S8DG、-S11DG、-S77DG |
四氯化锡 |
SnCI4 |
|
HCI 0-15ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
氟化钛 |
TiF4 |
|
HF 0-9ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、 SC-90 |
三氯甲硅烷 |
SiHCI3 |
|
HCI 0-15ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、-K78A、SC-90 |
三 甲 硼 |
B(OCH3)3 |
200ppm |
0-500ppm |
GD-S8DG、-S11DG |
三 甲 磷 |
PO(OCH3)3 |
|
0-100ppm |
GD-S8DG、-S11DG |
三甲亚磷 |
P(OCH3)3 |
10ppm |
0-15ppm |
GD-S8DG、-S11DG |
六氟化钨 |
WF6 |
|
HF 0-9ppm |
GD-K11D、-K7DⅡ、 SC-90 |